Υπόστρωμα:Β270
Ανοχή διαστάσεων: -0,1 χλστ
Ανοχή πάχους: ±0,05 χλστ
Επιπεδότητα επιφάνειας:1(0,5)@632,8 nm
Ποιότητα επιφάνειας: 40/20
Πλάτος γραμμής:0,1mm & 0,05mm
Άκρες:Γείωση, μέγιστο 0,3 mm. Φάλτσο πλήρους πλάτους
Καθαρό διάφραγμα: 90%
Παραλληλισμός:<5”
Επένδυση:T<0,5%@200-380nm,
Τ>80%@410±3 nm,
FWHM<6 nm
Τ<0,5%@425-510nm
Βουνό:Ναί